中电科风华高端检测设备获行业大奖

　　本报讯（记者乔建彬）近日，中电科风华公司Saturn系列激光点共焦旋转扫描晶圆缺陷检测设备，以优秀的解决方案和多项领先性能指标，荣获行家极光奖“2025年度优秀产品奖”，此次获奖是行业对公司技术创新与品牌价值的高度认可。
　　该设备运用激光共聚焦螺旋扫描成像技术，集成了明场、暗场、形貌、相位和多个PL等检测通道，能够全面、精准地检测抛光衬底片、外延片的颗粒与缺陷。此外，Saturn系列设备还具备自动实时对焦功能，能够有效克服晶圆翘曲带来的成像离焦问题，确保检测结果的准确性和可靠性。这款产品的推出，为半导体材料的品质控制和工艺优化提供了有力支持。
　　未来，中电科风华公司将继续聚焦半导体材料、器件、先进封装等核心检测环节，持续为客户提供具有国际竞争力的国产化检测设备产品和服务。